TCAD Simulation 경험이 있다면, 어떤 프로젝트에서 어떻게 활용하셨나요?

TCAD를 직접 쓴 경험은, 학부 반도체 공정 수업에서 도핑 프로파일을 시뮬레이션해 공정 조건 후보를 좁힌 일입니다. 이온 주입의 에너지·도즈를 바꿔 가며 도핑 프로파일이 어떻게 달라지는지를 시뮬레이션으로 확인해, 실제 웨이퍼를 가공하지 않고도 공정 조건이 전기 특성에 미치는 영향을 먼저 예측할 수 있었기 때문입니다. 그래서 저는 접합 깊이 조건을 몇 가지로 바꿔 SIMS 프로파일 형태를 예측하고 최적 조건 후보를 3개로 좁혔습니다. TCAD가 실험 횟수를 줄이는 도구라는 걸 그때 이해했습니다. 측정과 잇는 결로는, 가정 조건을 명확히 설정하지 않으면 결과가 실제와 크게 달라진다는 것도 배웠습니다. 다만 본인 사례와 한계를 짚습니다. 저는 수업 실습 수준이라, 그 예측을 실측 SIMS와 교정하거나 좁힌 후보를 실제 공정 의사결정으로 연결해 본 경험은 없습니다. 또 어떤 변수를 고정하고 바꿀지 설계하는 건 익혔지만 다변수 DOE까지는 가 보지 못했습니다. 그래서 도핑 프로파일을 예측한 경험을 토대로, 그 활용 역량을 더 키우려 합니다.