경험 기반 솔직한 접근
클린/웻 공정 개선 경험은 수율 데이터를 분석해 특정 배치에서 반복되는 불량 패턴을 발견한 것에서 시작됐습니다. 불량이 특정 장비와 특정 시간대에 집중되는 경향이 보였고, 해당 장비의 케미컬 농도 변화 이력과 불량률을 교차 분석했습니다. 웻 공정에서 케미컬 교체 주기가 늦어진 날에 불량이 집중됐다는 상관관계를 확인했습니다. 이 분석을 토대로 교체 주기를 단축하는 실험을 제안해 파일럿을 진행했고, 불량률이 이전 대비 줄어드는 결과를 확인했습니다. 데이터 분석은 문제의 원인을 추측에서 사실로 바꿔주는 과정입니다.
공정 개선은 관찰에서 시작해 데이터로 검증하는 방식이 가장 확실합니다.