반도체 공정 특성을 바탕으로 위험 요인을 사전에 체계적으로 평가하는 방식을 설명한 결
반도체 시설의 위험 요인은 화학물질, 고압 가스, 고전압 설비, 화재·폭발 네 범주로 나눠 접근하는 것이 일반적입니다. 학교에서 반도체 공정 안전 관련 자료를 읽으면서, 위험 요인 예측은 공정 흐름도(PFD)를 기준으로 각 단계별 잠재 이탈 시나리오를 추출하는 방식이 체계적이라는 걸 배웠습니다. 특히 웨이퍼 식각 공정은 불산(HF)을 사용하기 때문에 누출 시 피해 반경과 감지 방법이 중요합니다. 사전 예측은 HAZOP이나 What-if 분석 같은 정형화된 기법을 써야 누락 없이 위험 요인을 발굴할 수 있다고 생각합니다. 졸업 과제로 반도체 공정 위험성평가 보고서를 작성한 경험이 있어, 이론과 현장 절차 사이 간격을 좁히는 게 앞으로 해야 할 과제라고 느끼고 있습니다.