공정 지식 수준→모니터링 포인트→이상 대응→보고 결
웨이퍼 제조 공정은 노광, 식각, 증착 단계별로 관리해야 하는 지표가 다릅니다. 노광 단계에서는 패턴 정렬 정확도와 CD 측정값이 규격을 벗어나지 않는지를 주기적으로 확인하는 것이 중요합니다. 식각 단계에서는 식각 깊이와 균일성을 측정해 웨이퍼 전체에 걸쳐 편차가 허용 범위 내에 있는지를 SPC 차트로 추적합니다. 증착 단계에서는 막 두께와 스트레스 분포가 목표 범위를 유지하는지를 재공 검사를 통해 확인합니다.
이상 발생 시 흐름은 해당 로트를 우선 격리하고, 관련 장비 이력과 파라미터 로그를 검토해 원인을 좁히는 순서로 진행합니다. 통계 기반 관리로 이상이 패턴으로 반복될 때 조기에 감지하는 체계가 단발 대응보다 효율적임을 학습 과정에서 배웠습니다. 현장 경험은 아직 부족하지만 공정 지식과 데이터 기반 대응 방식을 기반으로 빠르게 현장 역량을 쌓아 나가겠습니다.