전기적 특성 측정과 이상 패턴 데이터 기반 진단 결
반도체 소자 특성 평가에서 가장 기본적인 기법은 I-V 특성 곡선과 C-V 측정입니다. 전류-전압 특성을 통해 트랜지스터의 임계 전압, 온/오프 전류 비율, 이동도를 확인하고, 소자가 설계 사양에 부합하는지를 단계별로 판단합니다.
수업에서 반도체 파라미터 분석기(SMU 기반 측정)를 활용해 기본 MOSFET 특성을 측정했습니다. 특히 게이트 산화막 결함이 누설 전류에 어떻게 나타나는지를 측정 데이터로 직접 확인하면서 결함과 전기적 특성의 연결을 이해했습니다.
분석 단계에서는 측정값의 이상 패턴을 정상 분포와 비교합니다. 통계적 방법으로 불량 소자를 선별하고, 원인을 공정 단계별로 역추적하면 특정 공정의 문제 여부를 판단할 수 있습니다.