학부 반도체 공정 수업 TCAD(Sentaurus) 실습
학부 반도체 공정 수업에서 TCAD(Sentaurus)를 처음 써봤습니다. 이온 주입 조건(에너지·도즈)을 바꿔가며 도핑 프로파일이 어떻게 달라지는지를 시뮬레이션으로 직접 확인했습니다. 실제 웨이퍼를 가공하지 않아도 공정 조건 변화가 전기적 특성에 미치는 영향을 시뮬레이션에서 먼저 예측할 수 있었습니다. 접합 깊이 조건을 몇 가지로 바꾸면서 SIMS 프로파일 형태를 예측하고, 최적 조건 후보를 3개로 좁혔습니다.
TCAD 시뮬레이션이 실험 횟수를 줄이는 도구라는 걸 그때 이해했습니다. 가정 조건을 명확히 설정하지 않으면 시뮬레이션 결과가 실제와 크게 달라질 수 있다는 것도 배웠습니다. 어떤 변수를 고정하고 어떤 것을 변화시키는지 설계하는 게 시뮬레이션 기획의 핵심이라는 걸 알았습니다.