기술 노드 전환 레시피·SOP 개발 — 최적 조건 탐색과 문서화 중심
기술 노드 전환 과정에서 레시피나 SOP를 개발한 경험은 반도체 공정 수업에서 노드 변경 시 식각 조건을 재최적화하는 실습에서 가깝게 경험했습니다. 새 노드에서는 기존 레시피가 그대로 적용되지 않는 경우가 있어, 각 공정 조건을 처음부터 검증하는 과정이 필요합니다. 핵심 파라미터를 하나씩 변경하면서 결과를 측정하는 방식으로 최적 조건을 찾아갔고, 조건 변화에 따른 결과 민감도가 높은 파라미터를 먼저 파악하는 것이 중요했습니다. SOP 작성에서는 재현 가능성을 최우선으로 생각했습니다. 다른 사람이 그 문서만으로 동일한 결과를 낼 수 있는지가 기준입니다.
절차의 이유까지 기록해두면 조건 변경이 필요할 때 판단 근거가 됩니다. 노드 전환은 단순 반복이 아니라 공정 전체를 다시 이해하는 과정입니다.