경험 기반 솔직한 접근
웻 클린 장비 예방 정비에서 가장 먼저 하는 건 정비 이력과 정기 점검 주기를 확인하는 것입니다. PM 주기가 도래한 항목을 점검 리스트로 뽑고, 부품 교체 및 소모품 현황을 사전에 준비합니다. 작업 시작 전에 장비 전원을 안전하게 차단하고 잔류 케미컬 세정을 완료한 후 진입합니다. 점검 중에는 노즐 상태, 배관 연결부, 필터 압력, 펌프 작동 상태를 순서대로 확인합니다. 교체 항목은 파트 번호와 교체 일자를 정비 이력에 기록하고, 재가동 전 리크 테스트와 케미컬 농도를 재확인합니다.
PM 완료 후 공정 웨이퍼로 검증해 정상 범위 내 결과가 나오는지 확인합니다. 기록이 빠짐없어야 다음 정비 시 참조가 됩니다.