경험 기반 솔직한 접근
반도체 공정에서 열처리와 표면 처리는 소자 특성과 수율에 직접 영향을 주는 핵심 단계입니다. 학교에서 RTP(급속 열처리)의 원리와 산화막 성장, 이온 주입 후 어닐링 역할을 배웠습니다. 열처리 온도와 시간이 도핑 프로파일과 결함 회복에 미치는 영향을 이해하는 것이 공정 설계의 기본입니다. 표면 처리 측면에서는 웻 클린과 건식 식각 전 표면 상태 관리가 후속 공정의 품질을 결정합니다. 파티클 잔류나 산화층이 남아 있으면 증착이나 패터닝 결과에 영향을 줍니다. 실습에서 웻 클린 후 표면 수분각 측정으로 세정 효과를 확인하는 경험을 했고, 측정 데이터가 공정 조건의 적합성을 판단하는 근거가 됨을 배웠습니다.