공정 시뮬레이션을 통해 수율 개선을 할 수 있는 구체적인 방법은 무엇인가요?

학부 졸업 프로젝트에서 반도체 공정 시뮬레이션 데이터를 분석해 수율 저하 요인을 찾는 작업을 진행했습니다. 실제 공장 데이터는 아니었지만, 공정 파라미터와 수율 사이의 관계를 찾는 방식은 실무와 유사하다고 생각합니다. 먼저 공정 변수들의 분포를 확인하고 이상값이 있는 배치를 먼저 분리했습니다. 이후 수율이 낮은 배치와 높은 배치를 비교해 온도, 압력, 시간 파라미터 중 어떤 변수가 가장 큰 차이를 보이는지 확인했습니다.

상관분석과 간단한 회귀 모델로 주요 인자를 좁혔고, 그 결과를 바탕으로 특정 파라미터 범위를 수정하는 제안을 했습니다. 도구보다 어떤 질문에 답하려고 분석하는가가 방향을 잡는 데 중요했습니다. 가설 없이 데이터를 보면 패턴처럼 보이는 것들이 노이즈인 경우가 많다는 것도 배웠습니다.