포토 장비에 대해 어떤 종류의 경험이 있으며, 특히 어떤 장비에 익숙한가요?

인턴 때 포토 공정 보조를 하면서 KrF 스텝퍼 장비의 노광 단계를 처음 경험했습니다. 코팅 단계에서 PR 두께 균일성이 노광 결과에 직접 영향을 준다는 걸 배웠습니다. 노광 에너지와 초점 조건을 변경하는 실험 보조를 하면서, 포커스와 노광량의 트레이드오프가 패턴 프로파일을 어떻게 바꾸는지를 직접 확인했습니다. 현상 후 CD-SEM으로 패턴 폭을 측정할 때, 같은 레시피여도 웨이퍼 위치에 따라 균일도 차이가 나는 것을 관찰했습니다. 포토 장비의 숙련도는 레시피 입력보다 결과 해석과 이상 징후 인식에서 나온다는 걸 배웠습니다.

코팅·노광·현상이 하나의 연결된 흐름이라는 것을 실습에서야 실감했습니다. 이후 저는 포토 결과를 볼 때 어느 단계에서 비롯됐는지를 먼저 추적하는 습관이 생겼습니다.