포토 스캐너 설치 작업 중 문제 발생 시, 어떤 절차를 통해 문제를 해결할 것인지 설명해보세요.

포토 스캐너 설치 중 문제가 발생하면 가장 먼저 설치 체크리스트의 완료 단계를 역순으로 검토합니다. 증상이 나타난 단계에서 이전 단계 설치가 올바르게 완료됐는지를 확인하면, 원인 범위를 설치 절차 내로 좁힐 수 있습니다.

정렬 오류나 캘리브레이션 실패 같은 문제는 기준 웨이퍼(reference wafer)를 활용한 단계별 진단이 효과적입니다. 어느 캘리브레이션 단계에서 허용 범위를 벗어나는지를 확인하면, 수정이 필요한 특정 서브시스템이 식별됩니다. 전체를 다시 설치하기 전에 문제 단계만 재수행합니다.

해결 과정에서 중요한 것은 수정 후 재현성을 반복 확인하는 것입니다. 한 번 통과했다고 완료로 보지 않고 동일 조건을 여러 번 실행해 결과가 안정적으로 유지되는지를 확인해야, 설치 완료 이후 공정 자격 단계에서 같은 문제가 재발하지 않습니다.