장비 파라미터가 초과되었을 때 어떻게 대응하며, 그 과정에서 어떤 조정을 했는지 구체적으로 말해 주세요.

인턴 때 식각 장비에서 압력 파라미터가 설정 상한을 초과하는 알람이 울렸습니다. 처음엔 일시적인 변동일 수 있다고 기다렸는데, 담당자는 초과를 확인한 즉시 정지·격리·원인 분석 순서로 대응했습니다. 파라미터 초과는 추가 피해 방지가 웨이퍼 손상보다 먼저라는 기준이 팀에 있었습니다. 정지 후 알람 로그와 공정 조건을 시간 순서로 맞춰보니, 초과 직전 가스 유량이 소폭 상승한 흔적이 보였습니다. 원인을 데이터로 특정하지 않으면 같은 이상이 다음 로트에서 반복된다는 걸 배웠습니다.

조정을 시도하기 전에 로그부터 확인하는 것이 진단 시간을 줄인다는 것도 알았습니다. 이후 저는 파라미터 이상을 보면 즉시 정지→격리→로그 분석→보고 순서를 떠올리는 습관이 생겼습니다. 초과를 가볍게 넘기는 판단이 가장 위험하다는 걸 그때 배웠습니다.