툴 자격을 수행하고 로트 처리를 진행할 때, 어떤 기준으로 판단하나요?

인턴 때 툴 자격 평가 보조를 하면서, 단순히 테스트를 통과했다고 자격을 부여하는 게 아니라는 걸 배웠습니다. 담당자는 자격 사양과 실제 측정값의 편차, 반복 재현성, 그리고 이전 이력을 함께 봤습니다. 자격 기준보다 실제 데이터가 좋아도 이력에 갑작스러운 변동이 있으면 원인을 먼저 확인하는 절차가 있었습니다.

수율 추세를 함께 보면서 툴 상태가 공정 결과에 영향을 주기 시작하는 시점을 잡는 방식도 배웠습니다. 로트 처리 판단에서는 자격은 통과했지만 이력상 불안정한 구간이 있는 경우 특별 모니터링 조건을 달았습니다. 판단 기준을 문서화해두면 담당자가 바뀌어도 동일한 기준으로 결정할 수 있다는 걸 알았습니다. 이후 저는 툴 상태를 볼 때 최근 이력 추세를 함께 보는 습관이 생겼습니다. 숫자 하나보다 추세가 더 많은 것을 말해준다는 걸 그때 배웠습니다.