파라메트릭 수율 관리에 대한 경험을 말씀해 주세요.

파라메트릭 수율 관리에서 제가 직접 한 건, 파라메트릭 데이터에서 관리 한계선 이탈 항목을 뽑아 불량 위치와 겹쳐 본 일입니다. 수치만 보면 어느 파라미터가 수율 손실과 연결되는지 알기 어려운데, 이탈 항목과 불량 분포가 겹치는 지점을 보면 원인 후보가 좁혀지기 때문입니다. 그래서 저는 품질 실습에서 파라메트릭 데이터의 관리한계선 이탈 항목을 추출한 뒤, 그 위치가 웨이퍼맵의 불량 위치와 겹치는 파라미터를 우선 확인했습니다. 팀 프로젝트에서 이 방식으로 에지 불량 60%가 특정 단계 온도 편차와 상관이 있다는 걸 찾아냈습니다. 측정 가능한 상관으로 닫은 셈입니다. 다만 본인 손과 한계를 짚습니다. 저는 실습 수준이라, 그 상관을 실제 공정 조정으로 연결해 수율을 끌어올리거나 재발을 막는 모니터링 기준까지 세워 본 경험은 없습니다. 또 상관이 인과인지를 더 검증하는 단계도 다뤄 보지 못했습니다. 그래서 이탈 항목을 불량 위치와 겹쳐 본 경험을 토대로, 그 수율 관리 역량을 더 키우려 합니다.