Dual Beam FIB 도구를 운영할 때 가장 중요하게 생각하는 점은 무엇인가요?

Dual Beam FIB(집속 이온 빔/주사 전자 현미경 복합 장비)를 운영할 때 가장 중요하게 생각하는 것은 이온 빔이 원하지 않는 영역을 손상시키지 않도록 정밀하게 제어하는 것입니다. 갈륨 이온 빔은 시편을 제거하는 힘이 강해, 목표 지점 외의 영역에 빔이 닿으면 불가역적인 손상이 발생합니다.

안전 운영에서는 진공 유지와 고전압 관리가 기본입니다. 진공이 충분하지 않으면 이온 빔 집속이 불안정해지고, 고진공 환경에서만 전자빔과 이온빔이 정밀하게 동작합니다. 시료 교환 전 벤트 절차를 올바르게 따르는 것이 장비 보호의 시작입니다.

이 장비의 장점은 같은 위치를 이온빔으로 가공하고 전자빔으로 즉시 관찰하는 것입니다. 단면을 열면서 실시간으로 구조를 확인할 수 있어 반복 시료 준비 없이 원하는 깊이까지 관찰이 가능하고, 결함 분석 효율이 크게 높아집니다.