EUV 리타일 검증 시스템을 관리할 때 가장 중요하게 생각하는 요소는 무엇인가요?

학부 EUV 공정 수업에서 레티클 관리가 왜 그토록 엄격한지를 배웠습니다. EUV 레티클은 반사형 구조라 결함이 생기면 수리나 세정이 어렵고, 불량 패턴이 웨이퍼 전체로 전사된다는 것을 케이스 스터디로 이해했습니다. 레티클 검사에서는 결함 위치와 크기가 수율에 미치는 영향을 추정해서 사용 가능 여부를 판단하는 기준이 있다는 걸 배웠습니다.

세정 이력을 관리하면 세정 횟수가 많아질수록 레티클 열화가 어떻게 진행되는지를 추적할 수 있었습니다. 정렬 정확도는 오버레이 오차의 직접 원인이 되기 때문에 노광 전 기준 교정이 중요하다는 것도 알았습니다. 레티클 관리는 수율 예측의 핵심 변수라는 걸 그때 이해했습니다. 이후 저는 EUV 공정 결과를 볼 때 레티클 이력을 함께 확인하는 시각이 생겼습니다.