A
약 90초
초과 즉시 Hold 및 로트 격리 후 원인 특정 전까지 추가 배치 진행 중단
프로세스 매개변수가 관리 한계를 초과했을 때는 즉각적인 공정 중단 여부 결정이 첫 번째 판단입니다. 초과 정도와 해당 파라미터가 품질에 미치는 영향에 따라 Hold 조치와 계속 진행을 결정하고, Hold인 경우 해당 로트를 격리해 추가 진행을 막습니다.
알람 발생 시 해당 시점의 파라미터 값과 공정 로그를 기록해 원인 분석의 기초 데이터로 보존합니다. 담당 엔지니어에게 즉시 보고하고, 원인이 밝혀질 때까지 동일 조건에서 추가 배치를 진행하지 않는 것이 라인 전체의 수율 리스크를 줄이는 기본 원칙입니다. 임시 조치로 해결된 것처럼 보이더라도, 근본 원인 분석과 재발 방지책 수립까지 완료해야 해당 이슈가 종결됩니다.
이 결의 특징
초과 정도와 품질 영향에 따라 홀드 여부를 정하고 로트를 격리하는 순서를 세운 흔적이 있습니다. 원인이 밝혀질 때까지 동일 조건 배치를 막는 대목에서 리스크를 앞서 차단하는 결이 보입니다.
이 결이 통하는 자리
임시 조치와 근본 원인 분석을 나눠 종결 기준을 명확히 할 때 통합니다. 라인 전체 수율 리스크로 번지는 걸 막는다는 논리가 이어지는 자리에서 통하는 결이 보입니다.