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산화·식각 화학 반응 메커니즘 이해를 기반으로 공정 파라미터-결과 관계를 예측하는 접근
기본 화학 지식이 공정 엔지니어링에 연결된다는 걸 실감한 건 산화 공정 수업에서 산화막 성장 속도와 온도·산소 분압의 관계를 배울 때였습니다. Deal-Grove 모델이 화학 반응 메커니즘에서 나온 것임을 이해하면서, 단순 공식 암기가 아닌 파라미터를 바꿀 때 결과가 왜 달라지는지 예측하는 방식으로 접근할 수 있게 됐습니다.
식각 공정에서는 에천트와 박막 사이의 선택비가 화학 반응 속도 차이에서 나온다는 것도 같이 배웠습니다. 산화 환원 반응과 결합 에너지 개념이 플라즈마 식각 조건 설계와 연결된다는 것을 실험 보고서를 작성하면서 처음 연결했습니다. 화학 배경 없이 공식만 쓰면 이상 현상이 생겼을 때 원인을 추론하기 어렵고 파라미터 조정 방향도 잡기 힘들다고 봅니다.
이 관점이 공정 파라미터를 실험 설계에 연결하는 기본 틀이 됐습니다.
이 결의 특징
산화 식각 화학 반응 메커니즘을 먼저 이해하고 공정 파라미터 결과 관계를 예측한 흔적입니다. 원리 기반 사고입니다.
이 결이 통하는 자리
메커니즘 이해로 예측한 파라미터가 실제 결과와 일치한 구체 검증이 드러날 때 통합니다. 원리 이해가 시행착오를 건너뛰는 자리에서 면접관의 신뢰가 생깁니다.