예방 보전 강화와 다운타임 원인 데이터 분석 결
ASML PAS5500 시리즈 스캐너의 가동률을 높이기 위해서는 예방 보전(PM) 주기와 품질을 최적화하는 것이 출발점입니다. 장비 결함이 발생하기 전에 교체·점검해야 하는 부품의 수명 데이터를 체계적으로 관리하면 비계획 다운타임을 줄일 수 있습니다.
장비 관련 학습을 통해 웨이퍼 정렬 정확도와 렌즈 클리닝 주기가 가동률에 직접적인 영향을 준다는 것을 배웠습니다. 이 두 요소의 이상 징후를 조기에 감지하면 수리 전에 일정을 조율할 수 있습니다.
가동률 지표는 다운타임 발생 원인을 분류하는 것으로 시작됩니다. 계획 PM 다운타임 vs 비계획 다운타임 비율을 꾸준히 추적하면 개선 우선순위를 데이터로 결정할 수 있습니다. 수치 기반 접근이 장비 관리 전략을 명확하게 만듭니다.