UPW 시스템의 핵심 품질 지표를 파악하고 경보 기준과 트렌드를 함께 본 결
UPW(초순수) 시스템 운영 성능을 모니터링할 때 가장 기본적으로 보는 지표는 비저항입니다. 비저항(Resistivity) 값이 낮아지면 이온 불순물이 증가했다는 신호이기 때문에, 목표 수준 이하로 떨어지면 즉시 원인을 찾아야 합니다. 그 다음은 TOC(총유기탄소)와 입자 수입니다. 반도체 공정에서 유기물과 미세 파티클은 수율에 직접 영향을 줄 수 있어서 별도로 추적합니다. 실습에서 배운 건 단일 지표보다 여러 지표의 동시 변화 패턴이 더 많은 정보를 준다는 것입니다. 비저항이 낮아지면서 TOC도 같이 오른다면, 특정 유기물 오염 가능성을 먼저 의심할 수 있습니다.
트렌드 차트를 주기적으로 보면서 이상 신호가 나타나기 전에 경향을 잡는 방식이 예방 관리의 핵심이라고 배웠습니다.