경험 기반 솔직한 접근
UPW(초순수) 시스템의 혁신 기술에 대해 주로 학술 자료와 산업 컨퍼런스 발표 자료를 통해 동향을 파악해왔습니다. 최근 반도체 공정 미세화에 따라 TOC 제어 한계 하향과 용존 산소 최소화 요구가 심화되는 추세입니다. 막 기술과 UV 산화 공정의 복합 적용이 기존 이온교환 방식의 한계를 보완하는 방향으로 발전하고 있습니다. 새로운 기술을 도입할 때는 파일럿 테스트를 통한 성능 검증이 선행되어야 한다고 이해합니다. 또한 기존 시스템과의 통합 가능성과 운영 비용을 함께 평가해야 실질적인 도입 판단이 가능합니다. 기술 변화를 빠르게 흡수하면서도 검증된 것만 현장에 적용하는 균형이 중요하다고 봅니다.