경험 기반 솔직한 접근
새로운 장비 커미셔닝 경험은 실습 기관에서 반도체 공정 장비 신규 설치 시 보조 역할로 참여한 것이 있습니다. 장비 벤더 엔지니어와 함께 설치 후 전기 연결 확인, 유체 라인 리크 테스트, 소프트웨어 초기화 작업을 순서대로 진행했습니다. 커미셔닝 체크리스트를 단계별로 작성하고 서명으로 완료를 확인하는 방식이 사용됐습니다. 가동 전 드라이런으로 공정 조건 없이 장비 동작 확인을 먼저 하고, 이후 웨이퍼 없이 케미컬 흐름을 테스트했습니다. 실 공정 적용 전에 여러 단계의 검증이 필요하다는 것을 배웠습니다.
커미셔닝은 장비를 켜는 것이 아니라 신뢰할 수 있는 상태로 만드는 과정입니다.