SEM 기본 원리와 직접 경험한 분석 사례를 연결해서 전달한다
재료 분석 수업에서 SEM(주사전자현미경)을 직접 사용해 보았습니다. 시료에 전자빔을 주사하여 표면에서 방출되는 이차전자를 검출해 이미지를 만드는 원리입니다. SEM은 광학 현미경보다 해상도가 수백 배 높아서 나노 단위의 표면 구조까지 볼 수 있습니다.
분석한 것은 폴리머 필름 표면의 크랙 구조였습니다. 육안으로는 균일해 보이는 필름이었지만, SEM으로 관찰해 보니 10~50μm 크기의 미세 균열이 불규칙하게 분포해 있었습니다. 그 패턴이 인장 방향과 관계가 있는지 확인하기 위해 방향별 샘플을 비교했는데, 가공 방향과 수직으로 균열이 집중되는 경향이 있었습니다. 실패 사례로는 시료 코팅이 불균일했는지 일부 영역에서 전자가 축적돼 이미지가 밝게 번지는 charging 현상이 발생한 것이었습니다. 이를 해결하기 위해 코팅 두께를 조정하고 재촬영하였습니다.
SEM은 표면을 보는 도구이지만, 보이는 것이 왜 그렇게 생겼는지를 해석하는 능력이 진정한 분석입니다.