환경에서 우선순위 전환을 끌어내는 결
둘은 놓인 환경이 달라 요구의 우선순위가 통째로 바뀝니다. 일반 산업용은 속도·힘·내구가 앞서지만, 반도체 설비용은 그보다 청정·정밀·안정이 먼저입니다. 환경 차이가 그렇게 만듭니다. 작은 파티클 하나가 웨이퍼를 불량으로 만들어, 로봇 자체가 발진원이 되면 안 됩니다. 그래서 일반 로봇과 달리 마찰부에서 가루가 안 나게 하고, 윤활·재질·실링을 청정 기준으로 다시 잡아야 합니다. 또 반복 위치 정밀도가 미크론 단위라, 일반 로봇이 무시하는 미세 진동·열변형이 곧 수율 손실입니다. 그래서 강성과 진동 억제를 다르게 봅니다. 다만 다 잡진 못합니다.
청정·정밀을 올리면 구조가 무거워지고 속도·비용이 떨어져, 어디까지가 수율에 의미 있는지로 가르는 게 핵심입니다. 핵심은, 환경 차이에서 우선순위 전환을 끌어내고 그 상충까지 본다는 점입니다.