전기 특성 이상 → 불량 위치 파악 → 물리 분석 순서로 실패 모드 규명하는 체계적 접근 경험
실패 분석을 시행할 때 제가 쓰는 방식은 전기 특성 이상 확인 → 불량 위치 파악 → 물리 분석 순서로 접근하는 것입니다. 먼저 I-V 측정이나 기능 테스트로 어떤 종류의 실패인지 분류하는 단계가 중요합니다. 단락인지 개방인지, 혹은 열화인지에 따라 다음에 볼 물리 분석 방향이 달라지기 때문입니다.
불량 위치를 좁히는 데는 발열 이미징이나 EMMI 같은 비접촉 기법을 사용하고, 위치가 좁혀지면 단면 SEM 또는 TEM으로 해당 부위를 직접 확인합니다. 공정 이력과 교차 분석하면 어느 공정 단계 이후에 이상이 시작됐는지 파악하는 데 도움이 됩니다.
이 흐름을 인턴 중 참관한 FA 사례에서 처음 이해했고, 이후 불량 분석의 기본 틀로 씁니다.