반도체 장비의 전기·기계 구동 구조 이해를 통해 장비 이상 시 진단 범위를 좁히는 경험
전기 기계적 적성은 학부 전자기기 실험 수업과 인턴 중 반도체 장비를 다루면서 키웠습니다. 장비를 단순히 켜고 끄는 것을 넘어, 내부 구동 메커니즘과 전기 제어 회로가 어떻게 연결되는지 이해하는 것이 이상 진단에 직접 도움이 됩니다. 웨이퍼 이송 시스템에서 서보 모터와 포지션 센서가 어떻게 피드백 루프를 형성하는지 매뉴얼을 통해 파악했고, 포지션 오류 경보가 발생했을 때 어느 부품을 먼저 확인할지 좁힐 수 있었습니다.
진공 챔버 내 압력 센서와 밸브 구동부의 연결 구조를 이해하면 공정 파라미터 이상의 원인을 전기 또는 기계 쪽으로 먼저 분류하는 데 도움이 됩니다. 전기와 기계 양쪽을 같이 이해하면 장비 담당자와 협업할 때 원인 추적 범위가 빠르게 좁혀집니다. 이 경험이 장비 이상을 다각도로 보는 시각의 시작이 됐습니다.