결함 발생 조건을 재현하고 공정 변수와 교차 분석해 원인을 좁히는 결
공정 실습에서 특정 배치에서만 결함이 집중 발생하는 문제를 조사했습니다. 처음에는 장비 문제라고 가정했는데, 같은 장비에서 다른 배치는 문제가 없었습니다. 가정을 데이터로 검증하는 게 먼저라는 걸 그때 배웠습니다. 결함이 있는 배치와 없는 배치의 공정 이력을 비교했더니 특정 소모품 교체 직후 배치에서 결함이 집중됐습니다. 소모품 교체 절차에서 잔류 오염 가능성이 있다는 걸 확인하고 세척 단계를 추가했습니다.
세척 단계 추가 이후 해당 결함 유형이 없어졌습니다. 결함 조사는 가정보다 데이터 비교로 범위를 좁히는 게 효율적이라는 걸 그때 배웠습니다. 지금도 결함 원인 분석은 발생 조건 재현부터 시작합니다.