학부 나노 반도체 소자 수업, 5nm 이하 노드 케이스 스터디
학부 나노 반도체 소자 수업에서 5nm 이하 기술 노드의 도전과제를 케이스 스터디로 분석했습니다. 게이트 올어라운드(GAA) 구조로 전환하는 배경이 FinFET에서 더 이상 누설 전류를 줄이기 어렵다는 한계에서 비롯된다는 걸 이해했습니다. 공정 변동이 소자 특성에 미치는 영향이 노드가 줄어들수록 커진다는 것도 배웠습니다.
열 밀도가 높아지면 쿨링 설계와 소자 배치가 성능 한계를 결정하는 요소로 부상한다는 것도 케이스에서 확인했습니다. 5nm 이하에서는 EUV 멀티패터닝이 패터닝 오차를 줄이는 핵심 기술이 된다는 것도 배웠습니다. 각 도전과제가 독립적으로 발생하는 게 아니라 서로 연결되어 있다는 걸 이해하고 나서 전체 그림이 잡혔습니다. 이후 저는 노드 전환 관련 이슈를 볼 때 누설·변동·열 세 가지를 함께 보는 시각이 생겼습니다.