첨단 노드 공정 제어 요구사항 변화와 EUV·DFM 도입 배경을 중심으로 학습
첨단 노드(8nm, 5nm, 3nm)에서 직접 작업한 경험은 없지만, 노드가 미세화될수록 공정 제어 요구사항이 어떻게 달라지는지에 대해 공부했습니다. 미세 노드에서는 포토리소그래피 해상도 한계와 기생 성분 증가가 설계와 공정 양쪽에서 주요 도전이 되고, EUV 기술이 도입되는 배경도 이 맥락에서 이해했습니다.
파운드리 기술 문서와 논문을 통해 각 노드에서 새롭게 요구되는 공정 최적화 항목과 장비 정밀도 기준을 파악했습니다. 노드가 내려갈수록 개발 비용과 수율 관리의 난이도가 높아지기 때문에, DFM처럼 설계 단계에서 공정 여유를 고려하는 접근이 더 중요해집니다. 이 분야에서 실제 데이터와 함께 학습 깊이를 더하고 싶습니다.