딥 서브 마이크론 효과를 먼저 파악하고 시뮬레이션으로 영향을 정량화하는 결
반도체 소자 수업에서 채널 길이가 줄어들수록 DIBL과 핫 캐리어 효과가 강해진다는 걸 배웠습니다. 실습에서 채널 길이를 250nm에서 90nm로 줄이면서 시뮬레이션했더니 Vth 롤오프와 누설 전류가 예상보다 크게 증가했습니다. 이론에서 배운 수준을 넘어 실제 시뮬레이션 수치를 보면서 딥 서브 마이크론 효과가 설계 마진에 직접 영향을 준다는 걸 확인했습니다. 해결 방향으로 하이케이 게이트 유전체와 메탈 게이트 조합이 게이트 누설을 줄이는 데 효과적이라는 걸 논문 리뷰로 확인했습니다. 다중 Vth 라이브러리를 활용하면 성능과 누설을 함께 조절할 수 있습니다.
시뮬레이션 분석 이후 마진 설정 근거가 명확해졌습니다. 지금도 새 노드 진입 시 주요 단채 효과를 먼저 파악합니다.