증상 기반 원인 분류와 단계적 점검 후 복구 결
장비 고장이 발생하면 먼저 오류 코드와 알람 이력을 확인하는 것이 첫 번째 단계입니다. 장비 로그에는 고장 직전까지의 파라미터 변화 이력이 담겨 있어, 원인을 빠르게 좁히는 데 핵심 자료가 됩니다. 증상에서 원인으로 거슬러 올라가는 순서가 중요합니다.
고장 원인을 기계적, 전기적, 소프트웨어, 공정 파라미터 네 가지 범주로 분류합니다. 원인 범주가 정해지면 각 범주에 맞는 점검 절차를 따라가면서 최소 단위까지 좁혀가는 방식이 효율적입니다. 체계적 접근이 직관적 판단보다 정확한 원인 찾기로 이어집니다.
수리 후에는 테스트 웨이퍼로 장비 상태를 검증합니다. 생산 웨이퍼를 투입하기 전에 공정 능력을 확인하는 것이 추가 불량 발생을 방지하는 방법입니다. 빠른 복구보다 완전한 복구가 장기적으로 더 중요합니다.