ASML 스캐너와 보조 장비 설치 과정에서 어떤 경험이 있나요?

인턴 때 ASML 스캐너 신규 설치 작업에 보조로 참여하는 기회가 있었습니다. 장비 설치는 단순히 기계를 놓는 것이 아니라 레벨링·정렬·캘리브레이션 순서로 진행되는 정밀 작업이라는 걸 배웠습니다. 레벨링은 웨이퍼 스테이지가 광학 축과 정확히 맞도록 조정하는 단계인데, 편차가 크면 패턴 위치 정확도(오버레이)가 전체 공정에 영향을 준다는 걸 알았습니다. 스캐너 설치 후 테스트 웨이퍼로 오버레이 성능을 먼저 검증하고 나서 양산 사양 충족 여부를 판단하는 절차도 관찰했습니다. 보조 장비들과의 인터페이스(레티클 핸들러, 트랙 시스템)가 공정 흐름에서 병목이 되지 않도록 사전 조율이 중요하다는 것도 배웠습니다.

장비 설치 품질이 이후 공정 수율의 기초가 된다는 걸 그 경험에서 실감했습니다. 이후 저는 장비 도입 절차를 볼 때 캘리브레이션 기준을 먼저 확인하는 습관이 생겼습니다.