이 질문 뒤에 면접관이 확인하려는 것은 따로 있습니다.
스크러버를 한마디로 하면 공정에서 나온 유해 가스를 그대로 밖으로 안 내보내게 처리하는 설비라고 이해하고 있습니다. 핵심은, 왜 처리 방식이 하나가 아니라 여러 개인가입니다. 가스마다 성질이 달라 한 방식으로 다 못 잡기 때문입니다. 물에 잘 녹는 가스는 물로 씻어 잡는 습식 방식이 효율적입니다.
물에 안 녹고 반응성이 강한 가스는 흡착제 같은 고체로 잡는 건식 방식이 맞습니다. 태워서 무해하게 바꿀 수 있는 가연성 가스는 연소시켜 처리하는 방식을 씁니다. 즉 방식이 갈리는 기준은 그 가스가 물에 녹는지, 태울 수 있는지 같은 성질입니다. 어느 하나가 가장 좋다기보다, 처리할 가스에 맞춰 고르거나 여러 방식을 조합한다는 게 핵심입니다. 다만 세부 효율이나 운용 조건은 설비마다 달라 단정하긴 어렵다는 한계는 둡니다. 핵심은, 정의 나열이 아니라 가스 성질에 따라 방식이 갈린다는 걸 짚는다는 점입니다.
저는 이 질문을 왜 한 설비에 여러 방식이 같이 있기도 한가로 보면 또렷해진다고 생각합니다. 공정 배기에는 성질이 다른 가스가 섞여 나오는 경우가 많습니다. 물에 녹는 것과 안 녹는 것, 태워야 하는 것이 함께 있으면 한 방식만으로는 일부만 잡고 나머지는 그대로 나갑니다. 그래서 실제로는 태워서 분해한 뒤, 그 결과로 생긴 물질을 다시 물로 씻어 내는 식으로 방식을 직렬로 잇기도 합니다. 즉 세 방식은 경쟁 관계가 아니라, 가스 구성에 따라 골라 쓰거나 이어 쓰는 도구에 가깝습니다. 핵심은 어느 게 우월하냐가 아니라, 나오는 가스를 다 잡으려면 성질별로 맞는 방식을 조합한다는 것입니다. 다만 조합이 늘면 설비가 복잡해지고 비용이 커진다는 점도 같이 봐야 합니다. 정의를 외우기보다, 가스 구성에 맞춰 방식을 조합한다는 관점이 제 답의 결입니다. 핵심은, 세 방식을 가스 구성에 따라 조합하는 도구로 본다는 점입니다.
솔직히 스크러버 운용을 직접 다뤄 본 경험이 깊다고 하긴 어렵습니다. 그래서 방식별 사양을 외워 늘어놓기보다, 제가 이해한 핵심 기준만 짚고 싶습니다. 스크러버의 역할은 공정에서 나온 유해 가스를 밖으로 그대로 안 보내게 처리하는 것입니다. 처리 방식이 여럿인 이유의 핵심은, 가스마다 무해하게 만드는 방법이 다르기 때문입니다.
물에 녹으면 씻어서, 태울 수 있으면 연소시켜서, 그 외엔 고체로 흡착해서 잡는 식입니다. 그래서 방식 선택의 기준은 그 가스의 성질이지, 어느 방식이 본래 더 우월해서가 아닙니다. 더 깊은 효율 수치나 설비 구성은 제가 단정할 자리가 아니라고 봅니다. 다만 가스 성질에 맞는 방식을 골라야 하고, 한 방식이 모든 가스를 다 잡진 못한다는 정도는 본인 말로 짚을 수 있습니다. 종류를 외우기보다, 왜 가스 성질로 방식이 갈리는지 아는 게 맞다고 생각합니다. 핵심은, 아는 경계를 두되 가스 성질이 방식을 가르는 기준임을 짚는다는 점입니다.
답변에서 흔히 빠지는 것들 — 빠져 있으면 꼬리질문이 깊어집니다.
이 질문에 이어 삼성전자 반도체 공정기술 면접관이 던질 가능성이 높은 후속 질문.
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