수율 손실 구간을 먼저 분리하고 파라미터와 연결하는 결
품질 실습에서 웨이퍼맵 데이터를 처음 다뤘을 때 불량이 랜덤하게 보여 어디서 시작해야 할지 몰랐습니다. 지도 교수님이 에지와 중심부로 구역을 나눠 불량 밀도를 비교하라고 조언해 줬는데, 에지 집중 패턴이 드러나면서 공정 원인 후보가 절반으로 줄었습니다. 그 뒤로는 웨이퍼맵에서 공간 패턴 분류를 먼저 하고 원인 변수를 좁혀갑니다. 파라메트릭 데이터는 관리한계선 이탈 항목을 추출한 뒤 불량 위치와 겹치는 파라미터를 우선 확인합니다. 팀 프로젝트에서 에지 불량 60%가 특정 단계 온도 편차와 상관이 있다는 걸 이 방식으로 찾아냈습니다. 지금도 수율 분석은 공간 패턴 분류 먼저라는 순서를 지킵니다.