공정 간의 상호작용이 중요하다고 했는데, 이를 설명하고 실제 사례를 들어보세요.

공정 간 상호작용에서 제가 중요하게 보는 건, 같은 증상이라도 원인이 어느 단계에서 시작됐는지를 선행 공정 히스토리로 교차 분석해 검증하는 일입니다. 앞 단계 결과가 다음 단계의 입력이 되어, 리소그래피의 선폭 편차가 식각 깊이로, 다시 배선 저항으로 연쇄되기 때문입니다. 그래서 저는 트러블슈팅에서 공정 순서도를 먼저 파악하고, 증상이 난 공정만 보지 않고 선행 공정의 히스토리 데이터를 함께 교차 분석해 진짜 시작점을 특정합니다. 이렇게 해야 올바른 공정에 대책을 적용해 재발을 막을 수 있습니다. 예시로는, 증착 두께가 불균일하면 CMP 후에도 단차가 남아 다음 층 패터닝에서 초점이 이탈하는 연쇄를 데이터로 본 게 있습니다. 다만 본인 사례와 한계를 짚습니다. 저는 수업 케이스 분석 수준이라, 실제 라인에서 인접 공정 변수를 교란 인자로 넣은 실험계획법으로 상호작용을 정량화하거나 전체 스택 관점에서 공정 윈도우를 검토해 본 경험은 없습니다. 그래서 히스토리 교차 분석 시각을 토대로, 그 통합 역량을 더 키우려 합니다.