영향 범위 파악과 손실 최소화 우선순위 결정 결
도구 결함으로 인한 웨이퍼 처리 계획을 수립할 때 가장 먼저 확인해야 할 것은 결함 발생 시점까지 처리된 웨이퍼 수와 현재 상태입니다. 전수 교체가 필요한지, 선별적으로 재처리할 수 있는지를 결함 유형과 처리 단계에 따라 구분하는 것이 출발점입니다.
공정 엔지니어링 수업에서 웨이퍼 분류 기준을 배웠습니다. 결함 전에 처리된 웨이퍼는 품질 검사 후 유지하고, 결함 발생 구간의 웨이퍼는 재처리 또는 스크랩을 결정합니다. 빠른 분류 결정이 라인 복귀 속도를 높이고 전체 손실을 줄입니다.
처리 계획은 생산 우선순위와 연계되어야 합니다. 납기가 촉박한 제품 배치를 먼저 처리하는 방향으로 자원을 배분하고, 여유 있는 배치는 대기시키는 방식이 전체 라인 효율을 지킵니다. 결정을 빠르게 내릴수록 다운타임이 줄어듭니다.