DI water 재활용 시스템 도입으로 fab 물 사용량 절감 결
반도체 fab에서 물 절약 이니셔티브를 추진한다면, 가장 효과적인 출발점은 초순수(DI water) 소비를 가장 많이 차지하는 공정부터 파악하는 것입니다. 세정 공정과 CMP 이후 린스 단계가 전체 물 사용량의 큰 비중을 차지하기 때문에, 이 두 영역의 재활용 가능성을 먼저 검토합니다.
재활용 시스템 설계에서는 오염도 기준에 따른 물 분류가 핵심입니다. 모든 사용수를 동일하게 처리하면 비용이 높아지지만, 오염이 낮은 린스 최종 단계 물은 정화 비용이 적고 재사용 가능성이 높습니다. 단계별 수질 측정이 재활용 설계의 기반 데이터가 됩니다.
이니셔티브 성공의 관건은 절감 목표를 수치로 설정하고 진행 상황을 추적하는 것입니다. 사용량, 재활용률, 비용 절감액을 주기적으로 측정하고 공유하면 팀의 동기가 유지되고, 다음 개선 단계를 결정하는 데이터가 쌓입니다.