수율(Yield)에 영향을 주는 Defect의 종류를 분류하고, 그중 가장 분석이 어려운 유형은 무엇이라고 생각하는지 말씀해주세요.

결함을 길게 나열하기보다, 원인이 어디서 오는지로 묶어 말씀드리고 싶습니다. 크게 보면, 외부에서 떨어진 입자 같은 오염성 결함, 공정 조건이 틀어져 생긴 공정성 결함, 재료나 기판 자체에 있던 결정성 결함으로 나눌 수 있다고 이해합니다. 이렇게 원인 위치로 묶으면 어디를 손봐야 하는지가 갈립니다. 그중 가장 분석이 어렵다고 보는 건, 늘 같은 자리에 나오지 않고 드물게 흩어져 나타나는 결함입니다. 패턴이 일정하면 어디서 왔는지 추적이 쉽지만, 발생이 산발적이면 어느 공정 단계가 원인인지 재현 자체가 어렵기 때문입니다. 원인을 못 잡으면 조치도 짐작에 머뭅니다. 다만 이건 제 경험이 아니라 구조상 그럴 것이라는 추론이라, 실제 현장 데이터로 확인이 필요하다는 한계는 둡니다. 종류를 외워 나열하기보다, 원인 위치로 묶고 재현이 어려운 유형이 왜 까다로운지를 짚는 게 핵심입니다. 핵심은, 원인 위치로 분류하고 산발성 결함이 왜 어려운지 근거를 댄다는 점입니다.