고장 메커니즘 선정과 가속 시험 설계로 신기술 신뢰성 평가 결
신기술 검증이나 공정 변경에 대한 신뢰성 평가 계획의 출발점은 어떤 고장 메커니즘이 새로 도입되거나 변화할지를 먼저 파악하는 것입니다. 공정 변경이 산화막 두께에 영향을 준다면 TDDB 테스트를, 금속 배선 밀도가 달라진다면 EM 가속 시험을 추가하는 식으로 변경 영향에 맞는 시험을 선택합니다.
시험 계획에서는 샘플 수와 가속 조건을 통계 기반으로 결정합니다. 신뢰 수준 90% 이상을 목표로 하면 필요한 최소 샘플 수가 계산되고, 가속 인자와 실사용 조건을 연결하는 수명 예측 모델이 시험 결과의 해석 기준이 됩니다.
신뢰성 평가 계획에서 배운 것은 테스트를 실행하기 전에 합격 기준을 먼저 정의하는 것이 중요하다는 점입니다. 기준 없이 결과를 수집하면 합격·불합격 판단이 주관적이 되고, 기준을 사전에 합의하면 평가 결과가 의사결정의 신뢰할 수 있는 근거가 됩니다.