인턴 SEM 운영 보조, FIB 단면 시편 관찰 참여
인턴 때 식각 공정 결과물을 SEM으로 분석하는 업무를 보조했습니다. 처음엔 이미지에서 무엇을 봐야 하는지 몰랐는데, 담당자가 측벽 각도와 바닥 거칠기를 기준으로 프로파일을 평가하는 방법을 알려줬습니다. FIB 단면 절단 시편을 SEM으로 관찰했을 때, 층간 두께가 설계값과 5% 이상 벗어난 구간이 발견됐습니다. 그 결과를 바탕으로 레시피 조정 방향을 잡을 수 있었습니다. SEM 이미지는 숫자 이전에 형상의 언어라는 걸 그때 배웠습니다.
측정 위치 선정이 결과 해석만큼 중요하다는 것도 알았습니다. 관찰 목적을 먼저 정해야 어디를 봐야 하는지가 명확해진다는 걸 그 경험에서 배웠습니다. 측정 데이터는 어디서 왜 측정했는지를 함께 기록해야 의미가 완성된다고 생각합니다.