과거의 프로세스에서 발생한 결함을 조사할 때, 어떤 접근 방식을 취했는지 구체적인 사례를 들어 설명해 주세요.

공정 실습에서 특정 배치에서만 결함이 집중 발생하는 문제를 조사했습니다. 처음에는 장비 문제라고 가정했는데, 같은 장비에서 다른 배치는 문제가 없었습니다. 가정을 데이터로 검증하는 게 먼저라는 걸 그때 배웠습니다. 결함이 있는 배치와 없는 배치의 공정 이력을 비교했더니 특정 소모품 교체 직후 배치에서 결함이 집중됐습니다. 소모품 교체 절차에서 잔류 오염 가능성이 있다는 걸 확인하고 세척 단계를 추가했습니다.

세척 단계 추가 이후 해당 결함 유형이 없어졌습니다. 결함 조사는 가정보다 데이터 비교로 범위를 좁히는 게 효율적이라는 걸 그때 배웠습니다. 지금도 결함 원인 분석은 발생 조건 재현부터 시작합니다.