CVD 공정의 자격 부여 과정에서 어떤 데이터를 수집해야 하는지 설명해 주세요.

CVD 자격 평가에서 제가 함께 짚는 데이터는, 막두께 외에 막 응력과 스텝 커버리지를 후속 공정 영향까지 보고 수집하는 일입니다. 응력이 과도하면 웨이퍼 휨이나 막 박리가 생기고 스텝 커버리지가 나쁘면 패턴 구조 위 덮임이 불균일해, 둘 다 후속 공정으로 문제가 번지기 때문입니다. 그래서 저는 자격 데이터를 모을 때 두께·균일성에 더해 스텝 커버리지로 패턴 위 덮임을, 응력으로 휨·박리 위험을 함께 확인합니다. 검증 결로는 여러 배치에 걸쳐 일관성을 봐, 단일 결과로 자격을 판단하지 않습니다. 다만 본인 사례와 한계를 짚습니다. 저는 자격 데이터의 의미를 이해하는 수준이라, 실제로 스텝 커버리지나 응력을 측정해 후속 공정 영향을 추적하거나 그 데이터로 자격 판정을 내려 본 경험은 없습니다. 또 공정 변수 민감도를 DOE로 정량화해 관리 기준을 세워 보지도 못했습니다. 그래서 응력·스텝 커버리지를 후속 공정과 잇는 시각을 토대로, 그 자격 역량을 더 키우려 합니다.