300mm 식각 챔버 파라미터 검증 및 OES 데이터 로깅
약 70초
인턴 300mm 드라이 에칭 라인 공정 보조, 균일도 편차 분석
인턴 기간에 300mm 드라이 에칭 라인에서 공정 보조 업무를 맡았습니다. 주로 OES(광학 방출 분광기) 데이터를 확인하며 엔드포인트 감지 신호를 로깅하는 일이었습니다. 한 번은 에칭 균일도 편차가 규격 대비 1.5배로 벌어지는 문제가 생겼고, 담당 엔지니어와 함께 원인을 분석했습니다.
가스 비율 조정 실험을 3회 반복해 최적 조건을 찾았고, 각 조건 변화가 균일도에 미치는 영향을 직접 데이터로 확인했습니다. 에칭은 작은 변수 하나가 프로파일 전체를 바꾼다는 걸 그때 실감했습니다. 에칭 공정의 레시피 파라미터가 그렇게 많은 이유를 몸으로 이해한 경험이었습니다. 이론으로 알던 것과 장비 앞에서 직접 보는 건 완전히 다른 이해를 준다는 걸 배웠고, 그 경험이 에칭 공정에 더 관심을 갖게 된 계기가 됐습니다.
이 결의 특징
OES 데이터로 엔드포인트 감지 신호를 로깅하다 에칭 균일도 편차가 규격의 1.5배로 벌어진 문제를, 가스 비율 조정 실험 3회로 최적 조건을 찾은 흔적이 있습니다.
이 결이 통하는 자리
작은 변수 하나가 프로파일 전체를 바꾼다는 실감이 구체 실험 반복과 함께 제시될 때 통합니다. 이론과 현장의 차이를 짚는 자리에서 면접관의 신뢰가 쌓이는 결이 보입니다.