전기적 결함과 물리적 결함을 상관관계 지을 때 어떤 방법을 사용했는지 설명해 주세요.

인턴 때 메모리 수율 분석을 보조하면서, 전기적 비트 실패와 물리적 결함을 연결하는 작업을 처음 경험했습니다. 비트맵에서 실패 비트 좌표를 추출하고, SEM 결함 검사 좌표와 겹치는 위치를 비교하는 방식으로 상관관계를 도출했습니다. 좌표가 일치하는 비율이 높으면 해당 물리적 결함 유형이 그 전기적 실패 모드의 원인일 가능성이 높다는 판단 기준이 있었습니다. 이 작업에서 좌표 변환과 매칭 기준을 정확히 설정하지 않으면 오탐이 생길 수 있다는 것도 배웠습니다. 통계적으로 결함 밀도와 수율 손실의 관계를 분석하면 공정 개선 우선순위를 잡는 데 도움이 됐습니다.

상관관계를 도출하면 다음 공정에서 어디를 먼저 개선해야 하는지가 명확해진다는 걸 배웠습니다. 이후 저는 수율 이슈를 볼 때 비트맵 패턴을 먼저 확인하는 습관이 생겼습니다.