단계별 검증 절차를 구조화해 설명한다
저는 장비 자격 검증을 설치 검증(IQ), 운전 검증(OQ), 성능 검증(PQ)의 3단계로 나눠 접근합니다. IQ에서는 설치 사양과 유틸리티 연결 상태를 확인하고, OQ에서는 장비가 명세된 조건대로 작동하는지 반복 테스트합니다.
PQ 단계에서는 실제 웨이퍼를 투입해 목표 수율과 균일도가 기준치를 충족하는지 확인합니다. 실습 프로젝트에서 접해본 사례로는 Cpk 1.33 이상을 합격 기준으로 삼았던 경우가 있었습니다.
이 3단계를 순차적으로 통과해야 실제 양산 라인에 투입할 자격이 부여된다고 이해하고 있습니다.