학부 반도체 공정 실습에서 겪은 두께 불균일 문제를 해결한 경험을 든다
반도체 공정 실습에서 박막 증착 후 두께가 웨이퍼 위치마다 다르게 측정된 적이 있습니다. 처음엔 측정 장비 오차라고 생각해 다시 측정했는데 같은 경향이 반복됐습니다. 조교님과 함께 증착 장비의 가스 유입구 위치를 확인해보니 한쪽으로 치우쳐 있다는 걸 발견했습니다. 이 경험으로 문제 해결은 결과만 다시 확인하는 게 아니라, 원인이 될 수 있는 장비 조건을 하나씩 점검하는 과정이라는 걸 배웠습니다.