교대 직후 가스 유량 오차로 식각 균일도 이상 추적
약 70초
인턴 공정 조건 로그 시간대별 분석, 교대 시점 패턴 발견
인턴 때 식각 공정에서 웨이퍼 중심부와 가장자리의 균일도 차이가 규격을 벗어나는 문제가 반복됐습니다. 공정 조건 로그를 시간대별로 정리하면서 가스 유량 설정값이 교대 직후마다 미세하게 달라지는 패턴을 발견했습니다. 담당자가 확인하니 레시피 파라미터를 수동으로 재입력하는 과정에서 소수점 한 자리 오차가 생기고 있었습니다. 그 부분을 레시피 잠금으로 수정한 뒤 균일도 이슈가 사라졌습니다.
원인이 장비가 아니라 운영 절차에 있었던 사례였고, 데이터를 시간 흐름으로 보는 게 중요했습니다. 이후 저는 공정 이상 분석 시 교대 전후 시점을 먼저 확인하는 루틴을 만들었습니다. 공정 이상이 생기면 장비 하드웨어보다 먼저 운영 이력과 교대 기록을 들여다보는 습관이 생겼습니다.
이 결의 특징
균일도 이상을 교대 직후 가스 유량 오차와 겹치는 시점으로 추적한 흔적이 있습니다. 레시피 잠금으로 수정한 뒤 이슈가 사라진 결과에서 원인이 장비가 아니라 운영 절차였다는 결이 보입니다.
이 결이 통하는 자리
데이터를 시간 흐름으로 읽어 운영 이력을 먼저 들여다보는 루틴이 구체 사례로 살아 있을 때 통합니다. 하드웨어를 의심하기 전 절차를 짚는 습관이 남는 자리에서 통하는 결이 보입니다.