공정 단계별 파라미터를 구분해 설명한다
저는 웨이퍼 제작 공정 검증을 공정 단계별로 나눠 접근하겠습니다. 포토 공정에서는 정렬 정밀도와 CD(임계치수) 균일도를, 식각 공정에서는 식각 속도와 프로파일 형상을 확인합니다.
실습 과정에서 접한 사례로는 신규 식각 장비에서 웨이퍼 중심부와 가장자리의 식각 속도 차이가 기준치를 넘어 레시피 조정이 필요했던 경우가 있었습니다.
공정별로 확인해야 할 지표가 다르다는 것을 알고, 그에 맞춰 세부 검증 계획을 세우는 것이 검증의 출발점이라고 생각합니다.