고급 기술 노드를 본사에서 전이할 때 어떤 절차를 따르셨나요?

학부 수업에서 기술 노드 이전 케이스를 분석하면서, 공정 조건을 그대로 복사해도 새 팹에서 결과가 달라지는 이유를 배웠습니다. 장비 특성과 재료 배치 환경이 달라지면 같은 레시피라도 다른 결과가 나올 수 있습니다. 인턴 때 공정 레시피 문서화를 보조하면서, 설계 의도와 실제 파라미터 값을 함께 기록하는 방식이 이전 후 디버깅 시간을 줄인다는 걸 배웠습니다. 기술 이전에서는 공정 조건 외에 왜 그 조건인지를 담은 문서가 더 중요하다는 걸 알았습니다. 초기 웨이퍼에서 기준 레시피 대비 결과 편차를 단계별로 추적하는 검증 루프가 핵심이라는 것도 그때 배웠습니다.

재현성 검증이 이전 완료의 기준이 돼야 한다는 원칙을 갖게 됐습니다. 이전 후 첫 웨이퍼 결과가 그 기준을 충족하기 전까지는 완료가 아니라고 생각합니다.